真空泵技術(shù)知識：真空的形成
一、真空泵中真空的基本概念
真空技術(shù)中，“真空”泛指在給定的空間內(nèi)，氣體壓強低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)，也就是說，同正常的大氣壓相比，是較為稀薄的一種氣體狀態(tài)。
真空度是對氣體稀薄程度的一種客觀量度。根據(jù)真空技術(shù)的理論，真空度的高低通常都用氣體的壓強來表示。在國際單位制中，壓強是以帕(Pa)為單位1Pa=1N/m2。另外常用的單位還有托(Torr)、毫米汞柱(mmHg)、毫巴 (mbar)、工程大氣壓(公斤／厘米2)等。
真空區(qū)域的劃分沒有統(tǒng)一規(guī)定，我國通常是這樣劃分的：
粗真空：(760～10)托
低真空：(10～10-3)托
高真空：(10-3～10-8)托
超高真空：(10-8～10-12)托
極高真空：10-12托
托和帕的關(guān)系：1 托=1 毫米汞柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。
真空區(qū)域的特點不同其應(yīng)用也不同，例如吸塵器工作于粗真空區(qū)域，暖瓶、燈泡等工作于低真空區(qū)域，而真空開關(guān)管和其它一些電真空器件則是工作在高真空區(qū)域。
二、真空間隙的絕緣特性
真空中放置一對電極，加上高壓時，在一定的電壓下也會產(chǎn)生電極之間的電擊穿。它的擊穿與空氣中的電擊穿有很大不同。空氣中的擊穿是由于氣體中的少量自由電子在電場作用下高速度運動，與氣體分子碰撞產(chǎn)生較多的電子和離子，新生的電子和離子又同中性原子碰撞，產(chǎn)生更多的電子和離子。這種雪崩式的電離過程，在電極間形成了放電通道，產(chǎn)生了電弧。而真空中，由于壓強較低，氣體分子極少，在這樣的環(huán)境中，即使電極間隙中存在著電子，它們從一個電極飛向另一個電極時，也很少有機會與氣體分子碰撞。因而不可能有電子和氣體分子碰撞造成雪崩式的電擊穿。正是因為氣體分子十分稀少，真空間隙電擊穿需要在非常高的電壓下出現(xiàn)場致發(fā)射等其它現(xiàn)象時才有可能形成。從理論上推測，電場強度需達到108V/cm以上時才會造成電擊穿，實際上真空間隙的絕緣強度由于一系列不利因素例如電極表面粗糙度、潔凈度等的影響，將低于理論計算值幾個數(shù)量級。
真空滅弧室中的真空度很高，一般為10-3～10-6 帕，此時真空間隙的絕緣強度遠遠高于1 個大氣壓的空氣和SF6 的絕緣強度，比變壓器油的絕緣強度還要高。正因為真空的絕緣強度很高，真空滅弧室中的所有電氣間隙都可以做得很小。例如12kV 真空滅弧室的觸頭開距只有8～12mm，40.5kV 真空滅弧室的觸頭開距也只要18～25mm，真空滅弧室中的其它電氣間隙也在此尺度范圍。
三、影響真空絕緣水平的主要因素
真空絕緣是一個十分復(fù)雜的物理過程，其機理到目前為止仍沒有明確的結(jié)論。從實際應(yīng)用情況來看，主要有以下幾個方面：
1、電極的幾何形狀
電極的幾何形狀對電場的分布有很大的影響，往往由于幾何形狀不夠恰當(dāng)，引起電場在局部過于集中而導(dǎo)致?lián)舸@一點在高電壓的真空產(chǎn)品中尤其突出。
電極邊緣的曲率半徑大小是重要因素。一般來說，曲率半徑大的電極承受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外，擊穿電壓還和電極面積的大小成反比，即隨著電極面積的增大而有所降低。面積增大導(dǎo)致耐壓降低的原因主要是放電概率增加。
2、間隙距離
真空的擊穿電壓與間隙距離有著比較明確的關(guān)系。試驗表明，當(dāng)間隙距離較小時（≤5mm），擊穿電壓隨著間隙距離的增加而線性增長，但隨著間隙距離的進一步增加，擊穿電壓的增長減緩，即真空間隙發(fā)生擊穿的電場強度隨著間隙距離的增加而減小。當(dāng)間隙達到一定的長度后（≥20mm），單靠增加間隙距離提高耐壓水平已經(jīng)十分困難，這時采用多斷口反而比單斷口有利。
一般認(rèn)為短間隙下的電擊穿主要是場致發(fā)射引起的，而長間隙下的的電擊穿則主要是微粒效應(yīng)所致。
真空開關(guān)工作在10-2Pa以上的高真空，由于此時氣體分子十分稀少，氣體分子的碰撞游離對擊穿已經(jīng)不起作用，因此擊穿電壓表現(xiàn)出和電極材料有較強的相關(guān)性。
真空間隙的擊穿電壓隨著電極材料的不同而不同，研究者發(fā)現(xiàn)擊穿電壓和材料的硬度與機械強度有關(guān)。一般來說，硬度和機械強度較高的材料，往往有較高的絕緣強度。比如，鋼電極在淬火后硬度提高，其擊穿電壓較淬火前可提高80%。
此外，擊穿電壓還和陰極材料的物理常數(shù)如熔點、比熱和密度等正相關(guān)，即熔點較高的材料其擊穿電壓也較高。對比熱和密度而言亦然。這一問題的實質(zhì)是在相同熱能的作用下，材料發(fā)生熔化的概率越大，則擊穿電壓越低。
4、電極的表面狀況
電極的表面狀況對真空間隙的擊穿電壓影響較大。電極表面的氧化物、雜質(zhì)和金屬微粒都會使真空間隙的擊穿電壓明顯下降。
此外，無論真空滅弧室的電極表面在制造中加工得如何，大電流開斷均會使電極表面變得凸凹不平，這也將使得擊穿電壓降低。
5、老煉效應(yīng)
電極老煉有電壓老煉和電流老煉兩種。
一個新的真空間隙進行試驗時，最初幾次的擊穿電壓往往較低。隨著試驗次數(shù)的增加擊穿電壓也逐漸增大，最后會穩(wěn)定在某一數(shù)值上。這種擊穿電壓隨擊穿次數(shù)增大的現(xiàn)象就是電壓老煉的作用。
電壓老煉就是通過放電消除電極表面的微觀凸起、雜質(zhì)和缺陷。經(jīng)過小電流的放電使表面的微觀凸起點燒熔、蒸發(fā)，使電極表面光滑平整，局部電場的增強效應(yīng)減小，提高了擊穿電壓。老煉對電極表面的純化作用也是很重要的。由于電極表面的電子發(fā)射容易出現(xiàn)在逸出功較低的雜質(zhì)所在處，擊穿放電同樣能使雜質(zhì)熔化和揮發(fā)，同樣能提高間隙的擊穿電壓。老煉過程中若能同時抽氣，把蒸發(fā)的氣態(tài)物抽走，效果更佳。電壓老煉只適宜用在真空間隙擊穿電壓的提高，對真空滅弧室觸頭間隙擊穿電壓的提高不會有太大的效果。電弧對觸頭表面的燒損將使電壓老練的效果全部失效。
6、真空度
真空度高于10-2Pa（10-4托）時，擊穿電壓基本上不再隨著氣體壓力的下降而增大，因為氣體分子碰撞游離現(xiàn)象已不再起作用。當(dāng)氣體壓力從l0-2Pa逐步升高時(真空度下降)，擊穿強度逐漸下降，而在接近1托(102Pa左右)最低，以后又隨氣壓的增高而增高。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上保持不變。這就表明，真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時完全能夠滿足正常的使用需求。
真空技術(shù)中，“真空”泛指在給定的空間內(nèi)，氣體壓強低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)，也就是說，同正常的大氣壓相比，是較為稀薄的一種氣體狀態(tài)。
真空度是對氣體稀薄程度的一種客觀量度。根據(jù)真空技術(shù)的理論，真空度的高低通常都用氣體的壓強來表示。在國際單位制中，壓強是以帕(Pa)為單位1Pa=1N/m2。另外常用的單位還有托(Torr)、毫米汞柱(mmHg)、毫巴 (mbar)、工程大氣壓(公斤／厘米2)等。
真空區(qū)域的劃分沒有統(tǒng)一規(guī)定，我國通常是這樣劃分的：
粗真空：(760～10)托
低真空：(10～10-3)托
高真空：(10-3～10-8)托
超高真空：(10-8～10-12)托
極高真空：10-12托
托和帕的關(guān)系：1 托=1 毫米汞柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。
真空區(qū)域的特點不同其應(yīng)用也不同，例如吸塵器工作于粗真空區(qū)域，暖瓶、燈泡等工作于低真空區(qū)域，而真空開關(guān)管和其它一些電真空器件則是工作在高真空區(qū)域。
二、真空間隙的絕緣特性
真空中放置一對電極，加上高壓時，在一定的電壓下也會產(chǎn)生電極之間的電擊穿。它的擊穿與空氣中的電擊穿有很大不同。空氣中的擊穿是由于氣體中的少量自由電子在電場作用下高速度運動，與氣體分子碰撞產(chǎn)生較多的電子和離子，新生的電子和離子又同中性原子碰撞，產(chǎn)生更多的電子和離子。這種雪崩式的電離過程，在電極間形成了放電通道，產(chǎn)生了電弧。而真空中，由于壓強較低，氣體分子極少，在這樣的環(huán)境中，即使電極間隙中存在著電子，它們從一個電極飛向另一個電極時，也很少有機會與氣體分子碰撞。因而不可能有電子和氣體分子碰撞造成雪崩式的電擊穿。正是因為氣體分子十分稀少，真空間隙電擊穿需要在非常高的電壓下出現(xiàn)場致發(fā)射等其它現(xiàn)象時才有可能形成。從理論上推測，電場強度需達到108V/cm以上時才會造成電擊穿，實際上真空間隙的絕緣強度由于一系列不利因素例如電極表面粗糙度、潔凈度等的影響，將低于理論計算值幾個數(shù)量級。
真空滅弧室中的真空度很高，一般為10-3～10-6 帕，此時真空間隙的絕緣強度遠遠高于1 個大氣壓的空氣和SF6 的絕緣強度，比變壓器油的絕緣強度還要高。正因為真空的絕緣強度很高，真空滅弧室中的所有電氣間隙都可以做得很小。例如12kV 真空滅弧室的觸頭開距只有8～12mm，40.5kV 真空滅弧室的觸頭開距也只要18～25mm，真空滅弧室中的其它電氣間隙也在此尺度范圍。
三、影響真空絕緣水平的主要因素
真空絕緣是一個十分復(fù)雜的物理過程，其機理到目前為止仍沒有明確的結(jié)論。從實際應(yīng)用情況來看，主要有以下幾個方面：
1、電極的幾何形狀
電極的幾何形狀對電場的分布有很大的影響，往往由于幾何形狀不夠恰當(dāng)，引起電場在局部過于集中而導(dǎo)致?lián)舸@一點在高電壓的真空產(chǎn)品中尤其突出。
電極邊緣的曲率半徑大小是重要因素。一般來說，曲率半徑大的電極承受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。
此外，擊穿電壓還和電極面積的大小成反比，即隨著電極面積的增大而有所降低。面積增大導(dǎo)致耐壓降低的原因主要是放電概率增加。
2、間隙距離
真空的擊穿電壓與間隙距離有著比較明確的關(guān)系。試驗表明，當(dāng)間隙距離較小時（≤5mm），擊穿電壓隨著間隙距離的增加而線性增長，但隨著間隙距離的進一步增加，擊穿電壓的增長減緩，即真空間隙發(fā)生擊穿的電場強度隨著間隙距離的增加而減小。當(dāng)間隙達到一定的長度后（≥20mm），單靠增加間隙距離提高耐壓水平已經(jīng)十分困難，這時采用多斷口反而比單斷口有利。
一般認(rèn)為短間隙下的電擊穿主要是場致發(fā)射引起的，而長間隙下的的電擊穿則主要是微粒效應(yīng)所致。
真空開關(guān)工作在10-2Pa以上的高真空，由于此時氣體分子十分稀少，氣體分子的碰撞游離對擊穿已經(jīng)不起作用，因此擊穿電壓表現(xiàn)出和電極材料有較強的相關(guān)性。
真空間隙的擊穿電壓隨著電極材料的不同而不同，研究者發(fā)現(xiàn)擊穿電壓和材料的硬度與機械強度有關(guān)。一般來說，硬度和機械強度較高的材料，往往有較高的絕緣強度。比如，鋼電極在淬火后硬度提高，其擊穿電壓較淬火前可提高80%。
此外，擊穿電壓還和陰極材料的物理常數(shù)如熔點、比熱和密度等正相關(guān)，即熔點較高的材料其擊穿電壓也較高。對比熱和密度而言亦然。這一問題的實質(zhì)是在相同熱能的作用下，材料發(fā)生熔化的概率越大，則擊穿電壓越低。
4、電極的表面狀況
電極的表面狀況對真空間隙的擊穿電壓影響較大。電極表面的氧化物、雜質(zhì)和金屬微粒都會使真空間隙的擊穿電壓明顯下降。
此外，無論真空滅弧室的電極表面在制造中加工得如何，大電流開斷均會使電極表面變得凸凹不平，這也將使得擊穿電壓降低。
5、老煉效應(yīng)
電極老煉有電壓老煉和電流老煉兩種。
一個新的真空間隙進行試驗時，最初幾次的擊穿電壓往往較低。隨著試驗次數(shù)的增加擊穿電壓也逐漸增大，最后會穩(wěn)定在某一數(shù)值上。這種擊穿電壓隨擊穿次數(shù)增大的現(xiàn)象就是電壓老煉的作用。
電壓老煉就是通過放電消除電極表面的微觀凸起、雜質(zhì)和缺陷。經(jīng)過小電流的放電使表面的微觀凸起點燒熔、蒸發(fā)，使電極表面光滑平整，局部電場的增強效應(yīng)減小，提高了擊穿電壓。老煉對電極表面的純化作用也是很重要的。由于電極表面的電子發(fā)射容易出現(xiàn)在逸出功較低的雜質(zhì)所在處，擊穿放電同樣能使雜質(zhì)熔化和揮發(fā)，同樣能提高間隙的擊穿電壓。老煉過程中若能同時抽氣，把蒸發(fā)的氣態(tài)物抽走，效果更佳。電壓老煉只適宜用在真空間隙擊穿電壓的提高，對真空滅弧室觸頭間隙擊穿電壓的提高不會有太大的效果。電弧對觸頭表面的燒損將使電壓老練的效果全部失效。
6、真空度
真空度高于10-2Pa（10-4托）時，擊穿電壓基本上不再隨著氣體壓力的下降而增大，因為氣體分子碰撞游離現(xiàn)象已不再起作用。當(dāng)氣體壓力從l0-2Pa逐步升高時(真空度下降)，擊穿強度逐漸下降，而在接近1托(102Pa左右)最低，以后又隨氣壓的增高而增高。從曲線上可以看出真空度高于10-2Pa時其耐壓強度基本上保持不變。這就表明，真空滅弧室的真空度在10-2Pa以上時完全能夠滿足正常的使用需求。
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